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光刻机
核心概念股

以下是国产光刻机产业链的核心概念股，按技术环节分类作了梳理，请大家收藏：

 
一、整机与核心参股企业

1. 张江高科（600895）:
通过子公司持有上海微电子（SMEE）10.779%股权，SMEE是国内唯一具备28nm光刻机研发能力的企业，承担国产光刻机突破重任。

2. 上海电气（601727）:
母公司为上海微电子第一大股东，提供资金与资源支持，间接参与光刻机整机制造。

3. 奥普光电（002338）:
实控人长春光机所参与光刻机研发，公司为光栅编码器龙头，光栅是光刻机核心定位部件。

 

二、关键部件与技术

1. 茂莱光学（688502）:
供应光刻机物镜、匀光模块等精密光学器件，应用于28nm制程设备，技术门槛高。

2. 炬光科技（688167）:
光场匀化器全球市占率超70%，用于光刻机曝光系统，解决光线均匀性难题。

3. 腾景科技（688195）:
多波段合分束器进入上海微电子供应链，替代进口产品，用于光刻机光学系统。

4. 苏大维格（300331）:
研发光刻机定位光栅部件，与上海微电子合作，提升设备精度。

5. 赛微电子（300456）:
子公司为ASML供应MEMS微镜系统，技术延伸至国产光刻机透镜部件。

 

三、配套设备与材料

1. 蓝英装备（300293）:
提供光刻机光学系统精密清洗设备，客户包括上海微电子合资公司。

2. 美埃科技（688376）:
为光刻机制造环境提供ISO 1级超净设备，打破国外洁净技术垄断。

3. 同飞股份（300990）:
温控设备用于光刻机冷却系统，保障设备运行稳定性。

4. 新莱应材（300260）:
真空腔体及气体系统组件应用于光刻机，客户含国际头部设备商。

5. 福晶科技（002222）:
全球最大LBO/BBO晶体生产商，产品用于光刻机激光光源系统。

 

四、控制系统与工艺

1. 电科数字（600850）:
子公司柏飞电子研发光刻机控制器，填补国产空白。

2. 金力泰（300225）:
超微弧氧化技术处理光刻机零部件表面，子公司为上海微电子供应商。

3. 波长光电（301421）:
光刻机平行光源系统已交付中芯国际，覆盖接近式掩膜光刻工艺。

 

五、服务与集成

1. 东方嘉盛（002889）:
建设光刻机保税维修仓库，提供设备维护和技术服务支持。

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